标准号：GB 6616-1986

标准名称：硅片电阻率的非接触式测试方法

标准类型：国家标准

标准性质：强制性

标准状态：作废

实施日期：1987-07-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属理化性能试验方法>>H22金属力学性能试验方法

替代以下标准：被GB/T 6616-1995代替

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