GB/T5374-1995摩托车和轻便摩托
2024-12-16
标准简介:本标准规定了硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法。本标准适用于硅抛光片表面区在模拟器件氧化工艺中诱生或增强的晶体缺陷的检测。硅单晶氧化诱生缺陷的检验也可参照此方法。
标准号:GB/T 4058-2009
标准名称:硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法
英文名称:Test method for detection of oxidation induced defects in polished silicon wafers
标准类型:国家标准
标准性质:推荐性
标准状态:现行
发布日期:2009-10-30
实施日期:2010-06-01
中国标准分类号(CCS):冶金>>半金属与半导体材料>>H80半金属与半导体材料综合
国际标准分类号(ICS):电气工程>>29.045半导体材料
替代以下标准:替代GB/T 4058-1995
起草单位:峨嵋半导体材料厂
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
发布单位:国家质量监督检验检疫.
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