标准简介：本文件规定了集成电路（IC)制造设备的基本和常用术语，包括基础术语，晶体生长加工设备、掩模制造设备、光刻与刻蚀设备、掺杂设备、薄膜淀积设备、清洗设备、封装设备、检测设备的术语及公用部件术语。本文件适用于集成电路制造设备的设计开发、生产和应用，也适用于集成电路制造设备的科研、教学和出版工作。

标准号：GB/T 40577-2021

标准名称：集成电路制造设备术语

英文名称：Terminology for integrated circuit(IC) manufacturing equipment

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2021-10-11

实施日期：2022-05-01

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L95电子工业生产设备综合

国际标准分类号（ICS）：电子学>>31.220电子电信设备用机电零部件

起草单位：中国电子技术标准化研究院、浙江晶盛机电股份有限公司、中电科电子装备集团有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、中微半导体设备(上海)股份有限公司、上海微电子装备(集团)股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、江苏卓远半导体有限公司

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

发布单位：国家市场监督管理总局.

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