标准简介：本标准描述了用半导体制造的微机电系统（MEMS）的总规范，规定了用于IECQ-CECC体系质量评定的一般规程，给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试的总则。本标准适用于各类MEMS器件[如传感器、射频MEMS，但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分析系统（Micro-TAS）和微能源MEMS]。

标准号：GB/T 32817-2016

标准名称：半导体器件 微机电器件 MEMS总规范

英文名称：Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2016-08-29

实施日期：2017-03-01

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合

国际标准分类号（ICS）：电子学>>半导体器件>>31.080.99其他半导体器件

起草单位：中机生产力促进中心、中国电子科技集团公司第十三研究所、中北大学、南京理工大学、大连理工大学

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

发布单位：国家质量监督检验检疫.

检测流程

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