GB/T26941.1-2011隔离栅第1部分:
2023-09-04
标准简介:本标准规定了硒化氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于硒铝、硒镁合金化合物水解、单质硒与氢高温反应等方法获得并经精制得到的硒化氢产品。它主要用于太阳能电池、半导体和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。分子式:H2Se。相对分子质量:80.97588(按2007年国际相对原子质量计算)。
标准号:GB/T 26249-2010
标准名称:电子工业用气体 硒化氢
英文名称:Gases for electronic industry—Hydrogen selenide
标准类型:国家标准
标准性质:推荐性
标准状态:现行
发布日期:2011-01-14
实施日期:2011-05-01
中国标准分类号(CCS):化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
国际标准分类号(ICS):化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
起草单位:中国计量科学研究院、西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、河北保定市北方特种气体有限公司
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/T
发布单位:国家质量监督检验检疫.
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