标准简介：本标准规定了微纳米标准样板（几何量）的术语和定义、型式与基本参数、要求、检查条件、检查方法、标志、运输及储存等。本标准适用于线间隔为0.05 μm~10 μm的微纳米线间隔标准样板、台阶高度为0.01 μm~100 μm的微纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度为2 nm~1 000 nm的纳米膜厚标准样板和线宽为25 nm~1 000 nm的纳米线宽标准样板。

标准号：GB/T 39516-2020

标准名称：微纳米标准样板（几何量）

英文名称：Micro nano standard samples (geometric)

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2020-11-19

实施日期：2021-06-01

中国标准分类号（CCS）：机械>>工艺装备>>J42量具与量仪

国际标准分类号（ICS）：计量学和测量、物理现象>>长度和角度测量>>17.040.30测量仪器仪表

起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所、成都工具研究所有限公司、广西壮族自治区计量检测研究院、中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院、中国计量大学、珠海市怡信测量科技有限公司

归口单位：全国量具量仪标准化技术委员会(SAC/TC 132)

发布单位：国家市场监督管理总局.

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