标准简介：本标准规定了真空技术方面的一般术语、真空泵术语、真空计术语、真空系统术语、真空检漏术语、真空镀膜技术术语、真空干燥术语、表面分析术语和真空冶金术语。本标准适用于真空技术方面的技术文件、标准、书籍和手册等有关资料的编写。

标准号：GB/T 3163-1993

标准名称：真空技术 术语

英文名称：Terminology for vacuum technology

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1993-01-02

实施日期：1994-08-01

中国标准分类号（CCS）：机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备

国际标准分类号（ICS）：流体系统和通用件>>23.160真空技术

替代以下标准：替代GB 3163-1982;被GB/T 3163-2007代替

起草单位：沈阳真空技术研究所

归口单位：全国真空技术标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局

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