标准简介：本标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法，包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和试验步骤。本标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验。

标准号：GB/T 38447-2020

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

英文名称：Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2020-03-06

实施日期：2020-07-01

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合

国际标准分类号（ICS）：电子学>>31.200集成电路、微电子学

起草单位：北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、沈阳国仪检测技术有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

发布单位：国家市场监督管理总局.

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