标准简介：本标准规定了俄歇电子能谱和部分类型的 X射线光电子能谱检测信号对应样品区域的确定方法。本标准适用于俄歇电子能谱仪和具有以下条件的 X射线光电子能谱:入射 X光束激发的样品区域大于分析器可检测到的样品区域;光电子从样品到分析器入口的过程中经过自由空间;装配有辅助电子枪可以产生一束可变能量的电子束照射到样品上。

标准号：GB/T 31470-2015

标准名称：俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则

英文名称：Standard practice for determination of the specimen area contributing to the detected signal in Auger electron spectrometers and some X-ray photoelectron spectrometers

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2015-05-15

实施日期：2016-01-01

中国标准分类号（CCS）：仪器、仪表>>电工仪器仪表>>N26综合测试系统

国际标准分类号（ICS）：计量学和测量、物理现象>>电学、磁学、电和磁的测量>>17.220.20电和磁量值的测量

起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)

发布单位：国家质量监督检验检疫.

检测流程

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