标准简介：本标准规定了电子探针分析仪的检测条件、技术要求、检测方法、判别原则与检测周期。本标准适用于使用中、修理后用X射线波长分光谱仪进行素分析的电子探针分析仪的检测。配有波谱仪的扫描电子显微镜的检测可参照执行。

标准号：GB/T 15075-1994

标准名称：电子探针分析仪的检测方法

英文名称：Method for testing EPMA instrument

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1994-05-09

实施日期：1994-01-02

中国标准分类号（CCS）：仪器、仪表>>光学仪器>>N33电子光学与其他物理光学仪器

国际标准分类号（ICS）：计量学和测量、物理现象>>光学和光学测量>>17.180.30光学测量仪器

起草单位：北京地质院

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局

检测流程

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